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Model 5910/5920

UHP高純度ガス水分計(水晶発振式) Model 5910/5920

水晶発振式のUHP高純度ガス水分計です。
マスフローコントローラー、ゼロガスモジュール内蔵で、各種システムを最適化。 高感度、高精度、高速レスポンスを誇ります。スパンガス、キャリブレーションも不要で、自動ゼロ校正も可能。

特徴

おもな仕様

製品情報
検出下限

150ppt(5920:1ppb)

校正レンジ

150ppb

測定レンジ

1000ppb

SWIPE

おもな用途

  • UHP高純度ガス

  • 半導体・電子材料ガス

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