Model 5910/5920
UHP高純度ガス水分計(水晶発振式)
特徴
おもな仕様
検出下限
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150ppt(5920:1ppb) |
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校正レンジ
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150ppb |
測定レンジ
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1000ppb |
おもな用途
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UHP高純度ガス
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半導体・電子材料ガス
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