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Model 5830/5800

高純度ガス水分計(水晶発振式) Model 5830/5800

水晶発振式の高純度ガス水分計です。
幅広い用途に対応可能で、高純度ガス、半導体、電子材料、ハイドロカーボン、特殊ガスにも対応可能。
ゼロ校正を行なうためのゼロガスモジュール及びパーミエーションシステム内蔵。

特徴

おもな仕様

製品情報
検出下限

20ppb

校正レンジ

100ppm

測定レンジ

1000ppm

SWIPE

*Model 5800は材質の変更や交換を容易にしたモデルで、ホスフィン、アルシンなど特殊ガスに対応可能。

おもな用途

  • 高純度ガス

  • 半導体・電子材料ガス

  • ハイドロカーボン

  • オレフィン

  • 特殊ガス

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