Model 5830/5800
高純度ガス水分計(水晶発振式)
特徴
おもな仕様
検出下限
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20ppb |
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校正レンジ
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100ppm |
測定レンジ
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1000ppm |
*Model 5800は材質の変更や交換を容易にしたモデルで、ホスフィン、アルシンなど特殊ガスに対応可能。
おもな用途
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高純度ガス
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半導体・電子材料ガス
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ハイドロカーボン
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オレフィン
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特殊ガス
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