特定ガスの高感度・高精度な測定に特化したコンパクト分析装置
ホルムアルデヒド(H2CO)をppt-ppmレベルの高感度で連続測定
エチレンオキシド(C2H4O)をppt-ppmの高感度で連続測定
過酸化水素ガス(H2O2)をppb-pptレベルの高感度で連続測定が可能なガス分析計です。
フッ化水素(HF)をppb-pptレベルの高感度で連続測定
塩化水素(HCl)をppb-pptレベルの高感度で連続測定
アンモニア(NH3)をppbの高感度で連続測定