LAwave

LAWaveシステムは、表面弾性波を用いる薄膜の機械的特性評価装置です。
レーザーにより励起された弾性波の伝播特性はサンプルのヤング率、ポアソン比、密度、膜厚に依存します。
得られた弾性波から専用の解析ソフト ウェアによりヤング率を算出します。

・数秒かつ非破壊で測定可能
・数nm～約1mmまでの厚みに対応
・室温から600℃までのin situ測定対応
・ 加工変質層の評価が可能

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