製品情報

UHP高純度ガス水分計(水晶発振式) Model 5910/5920

UHP高純度ガス水分計(水晶発振式)
Model 5910/5920

水晶発振式のUHP高純度ガス水分計です。
マスフローコントローラー、ゼロガスモジュール内蔵で、各種システムを最適化。 高感度、高精度、高速レスポンスを誇ります。スパンガス、キャリブレーションも不要で、自動ゼロ校正も可能。

  • 概要

おもな仕様

検出下限:150ppt(5920:1ppb)
校正レンジ:150ppb
測定レンジ:1000ppb

おもな用途

・UHP高純度ガス
・半導体・電子材料ガス

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