製品情報

高純度ガス水分計(水晶発振式) Model 5830/5800

高純度ガス水分計(水晶発振式)
Model 5830/5800

水晶発振式の高純度ガス水分計です。
幅広い用途に対応可能で、高純度ガス、半導体、電子材料、ハイドロカーボン、特殊ガスにも対応可能。
ゼロ校正を行なうためのゼロガスモジュール及びパーミエーションシステム内蔵。

  • 概要

おもな仕様

検出下限:20ppb
校正レンジ:100ppm
測定レンジ:1000ppm

*Model 5800は材質の変更や交換を容易にしたモデルで、ホスフィン、アルシンなど特殊ガスに対応可能。

おもな用途

・高純度ガス
・半導体・電子材料ガス
・ハイドロカーボン
・オレフィン
・特殊ガス

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