製品情報

ガスモニタリングシステム A0316

ガスモニタリングシステム
A0316

・可搬型ガスモニタリングシステム
 半導体製造装置メンテナンス時のリークチェックに
 便利な移動式ガス分析計
・1台で最大16ポイントをモニタリング
・測定ガス種
 HF、HCl、NH3、H2S、SO2、NO2など
・次世代のレーザー方式
 PICARRO社独自開発の波長スキャン・キャビティ
 リングダウン分光法(WS-CRDS)をガス分析計に採用
・リアルタイム測定
 高感度(ppb~ppt)で多点連続測定
・SEMI、IEC、CE規格適合

  • 概要
  • 特徴
  • 仕様
  • 導入事例事例

PICARRO Web3

半導体工場のガスモニタリングについて

半導体工場のガスモニタリングにおいては、IC(Ion Chromatography)やIMS(Ion Mobility Spectrometers)が従来の技術として使用されてきましたが、2014年頃を境にLaser Spectometers(レーザー方式)が採用されるようになり、半導体工場一棟で数10台以上ものレーザー方式(CRDS方式)が使われるようになりました。数秒間隔での高速測定や優れた精度(pptレベルの検出下限)、長期安定性(ドリフトなし)、メンテナンスフリーな機器として最先端の半導体工場で広く採用されています。

従来のICやIMSから次世代のレーザー方式(CRDS方式)への切替え

PICARRO社の優れたWS-CRDS技術

PICARRO社A0316は、クリールーム内の各種ガスをppb~pptの高感度で連続的に多点測定が可能なガス分析計です。PICARRO社独自開発の波長スキャン・キャビティリングダウン分光法(WS-CRDS)をガス分析計に採用しており、近赤外レーザーによるガス分子の吸収スペクトルを高精度に計測しています。ガス分子は有効光路長が最大20kmのキャビティ(測定チャンバー)内を循環しており、特許技術の波長モニター機能により、測定対象の吸収スペクトルを正確に捕捉、補正しているため、ガス成分同士の相互干渉を最小限に抑えることで高精度な測定を実現しています。また、キャビティ内の圧力や温度は1/1000~1/10000の精度で制御されており、測定環境の変化によるドリフトを最小化されるよう設計されており、従来のNDIRで必要とされた頻繁なキャリブレーションは不要になりました。

キャリブレーションフリーの次世代レーザー方式

メンテナンスフリーのCRDS方式

次世代のレーザー方式であるCRDS方式は、ハード的な駆動部分がないことから、メンテナンスフリーであり、消耗品はパーティクルフィルタやダイヤフラムポンプのメンブレン程度となっています。

消耗品は安価なパーツのみ
最先端のPICARRO社AMCモニタリングシステムの詳細はPICARRO社のホームページからも入手できます。
製品に関するお問い合わせはこちらまで。
  • 特徴

PICARRO Web2

主な特長

・PICARRO社のレーザー方式(WS-CRDS)ガス分析計に最適設計されたサンプリングシステム
・全てのサンプルガスラインを同時に連続でフラッシングする機能によるサンプルポイントの高速切替え
・リークサーチモードはユーザーによるシーケンスの編集が可能で多点一括測定(例:8ポイント同時測定)も可能
・サンプルポートは、8ポート、16ポートを選択可能
・ppmレベルの高濃度吸入後のバックグラウンドレベルへのリカバリーは数分で完了(CDA/N2接続時)
・自動キャリブレーション機能により測定精度は数年以上の長期安定性があります
・代替ガスによるバリデーション機能を搭載しており、ユーザー側でのオペレーションも可能

キャリブレーション不要のガスモニタリングシステム
  • 仕様

cavity photos

主な仕様

測定方式: WS-CRDS(波長スキャン・キャビティリングダウン分光法)
測定ガス種: HF、HCl、NH3、H2S、SO2、NO2
測定濃度範囲: 0~10ppm(ガス種による)
測定間隔: 30秒~数分(サンプルラインの長さ、ガス種による)
サンプリング配管: 最長200m
サンプル流量: 60L/min
本体寸法: W600×D955×H1450 mm
本体重量: 181kg(真空ポンプを含む)
消費電力: 300~500W

測定間隔30秒の高速測定
  • 導入事例

主な導入事例

PICARRO社のCRDS方式SI2000シリーズは韓国、台湾、日本を中心としてAMCモニタリングやガスモニタリングとして先端の半導体工場に多くの導入事例があります。

 

参考ムービー

食品の産地判別に安定同位体比アナライザーを利用した事例(NTT様ご提供)

*PICARRO社のCRDS技術に関する紹介ビデオ

PICARRO社のCRDSは精度が高く、安定同位体比の測定にも利用されています
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