東京ビッグサイト 東ホール

東京都江東区有明3-11-1

 

PICARRO/三洋貿易ブース：東1ホール1928

 

◎出展お知らせ、会場案内図はこちらをご覧ください。

案内状_セミコンジャパン2018_PICARRO・三洋貿易ブース

2018年12月12日(水)～14日(金)　10:00～17:00

展示概要

シリコンバレーに本社を置くPICARRO社のAMCモニタリングシステムを実機展示いたします。

半導体工場でのガス漏れ事故や、歩留向上の目的で世界的に広く採用されるようになったPICARRO社のAMCモニタリングシステム。

韓国、台湾、日本での事例や方向性を含め、最新情報をご紹介いたします。

 

 出展製品

AMCモニタリングシステム（据置型）

200mのサンプルライン32ポートを自動シーケンスにて高速連続モニタリング

 

 ガスモニタリングシステム（可搬型）　＊実機展示

16ポートを高速でモニタリングが可能な可搬型ユニット

主な仕様

測定方式：　WS-CRDS(波長スキャン・キャビティリングダウン分光法)
測定ガス種：　HF、HCl、NH3、H2S、SO2、NO2
測定濃度範囲：　0～10ppm(ガス種による)
測定間隔：　30秒～数分(サンプルラインの長さ、ガス種による)
サンプルライン長さ：　最長200m
サンプル流量：　60L/min
本体寸法：　W800×D900×H1780 mm

 

AMCモニタリングシステムのラインナップはこちらをご覧ください。