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【新製品の発売】半導体工場での高精度なガスモニタリングに対応したPICARRO社「AMCモニタリングシステム」の発売

レーザー方式ガス分析計の世界トップブランドである米国PICARRO社より多点測定が可能な「AMCモニタリングシステム」が発売されました。

AMCモニタリングシステムにはHF、HCl、NH3、H2Sガスを高感度(ppb~ppt)でリアルタイムに測定可能なPICARRO社SI2000シリーズが搭載されており、半導体工場クリーンルーム内のマルチポイントモニタリングに対応した高機能なサンプリングシステムが採用されています。

AMCモニタリングシステムのラインナップはこちらをご覧ください。

 

AMC

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