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3D光学プロファイラー  UP-5000/UP-3000/UP-2000

3D光学プロファイラー
UP-5000/UP-3000/UP-2000

UPシリーズ(5000/3000/2000)は独自の3D高解像度ユニバーサル光学プロファイラー(表面形状測定機)で、包括的な分析のために同じプラッフォーム上で複数の光学イメージング技術を組み合わせています。 ほぼすべての材料の粗さ、ステップの高さ、テクスチャ、形状、厚さなどを簡単に測定できます。

  • 概要
  • 仕様

UPシリーズ(5000/3000/2000)は独自の3D高解像度ユニバーサル光学プロファイラー(表面形状測定機)で、包括的な分析のために同じプラッフォーム上で複数の光学イメージング技術を組み合わせています。 ほぼすべての材料の粗さ、ステップの高さ、テクスチャ、形状、厚さなどを簡単に測定できます。

  1. UP-2000(白色干渉計)
    コストパフォーマンスの高い白色干渉計です。
    UP-2000は白色干渉計のみ搭載であり,超高精度なZ方向(深さ方向)の解像度を誇ります。
    画像の自動ステッチング,解析ソフトウェアなど標準的な機能は標準搭載されています。
  2. UP-3000(白色干渉計&共焦点レーザー顕微鏡)
    ソフトウェア上のクリック1回で白色干渉計⇔共焦点レーザー顕微鏡の機能を切り替え可能なハイブリッドモデルの3Dプロファイラーです。
    UP-3000は白色干渉計と共焦点レーザー顕微鏡が1つのヘッドに搭載されています。
    画像の自動ステッチング,解析ソフトウェアなど標準的な機能は標準搭載の高機能モデルとなります。
  3. UP-5000(白色干渉計&共焦点レーザー顕微鏡&ラマン)
    ソフトウェア上のクリック1回で白色干渉計⇔共焦点レーザー顕微鏡の機能を切り替え可能なハイブリッドモデルの3Dプロファイラーです。
    UP-3000の機能に加えラマン機能を有したモデルで
    画像の自動ステッチング,解析ソフトウェアなど標準的な機能は標準搭載の最上級機能モデルとなります。
UPシリーズ解析ソフトウェア
  • 仕様
UP-5000 UP-3000 UP-2000
明視/暗視
スピニングディスク共焦点
白色干渉計
可変焦点イメージング
画像⾃動ステッチング
ラマン
サンプルステージ 300*300*150㎜ 150*200*150㎜ 150*200*150㎜

・白色干渉計とスピニングディスク共焦点の特長の違いは下記の通りです。

項目 白色干渉計 スピニングディスク共焦点
分解能 最⾼のZ解像度

(対物レンズの倍率の影響を受けません)

最⾼の横⽅向の解像度
粗さ 滑らかな表⾯ 滑らかな/粗い表⾯
反射率 表⾯反射率の⾼いサンプル 表⾯反射率が⾼い/低いサンプル
表面傾斜角 44°以内の表⾯構造の傾斜 87°以内の表⾯構造の傾斜
透明サンプル 透明な表⾯/下⾯には適していません 透明な表⾯/下⾯に適しています
画質 2.3M ピクセル 5Mピクセルより良い解像度
測定環境(振動) 振動に敏感 優れた耐振動性
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