製品情報

NH3ガス分析計 SI2103

NH3ガス分析計
SI2103

・次世代のレーザー方式
 PICARRO社独自開発の波長スキャン・キャビティリングダウン分光法(WS-CRDS)
・リアルタイム測定
 高感度(ppb~ppt)で数秒間隔の連続測定が可能な可搬型ガスセンサー
・SEMI、IEC規格適合
 半導体工場での使用に対応

  • 概要
  • 特徴
  • 仕様
  • 導入事例事例

PICARRO社の優れたWS-CRDS技術

Picarro SI2306ガスアナライザーはリアルタイムに大気中の微量のNH3ガスを高感度(ppb~ppt)で測定可能なガスモニターです。Picarro社独自の波長スキャンキャビティリングダウン分光法(WS-CRDS)を使っており、近赤外レーザーによる分子からのスペクトル信号を時間基準測定しています。ガスは有効光路長最大20Kmの光学測定キャビティを循環しています。特許の高精度波長モニターにより測定対象の吸収スペクトルを確認、測定しているためガス成分同士の相互干渉が劇的に減少しています。その結果、装置環境が変化しても最小限のキャリブレーションにて良好な直線性、精度、確度を維持出来ます。Picarro SI2306に搭載されている高精度温度、圧力制御システムは最小限のキャリブレーションガス消費で高精度長時間測定を保証します。アナライザーは特に堅牢で基本的にメンテナンスフリー、消耗品無しとなっており、アナライザー所有者に簡便な操作や利益をもたらします。

キャリブレーションフリーの次世代レーザー方式
  • 特徴

主な特長

5秒以下の間隔で高速連続測定
周辺温度変化の影響を受けない優れた精度
自動キャリブレーション機能による測定精度の長期安定性を実現
現場から現場への持ち運びが容易な可搬型

バックグラウンド、キャリブレーション不要の連続測定
  • 仕様

主な仕様

測定方式: WS-CRDS(波長スキャン・キャビティリングダウン分光法)
測定ガス種: NH3ガス
検出下限: 300ppt(100秒、3σ)
測定範囲: 0~10ppm
測定間隔: 4秒以下
サンプル流量: <2slm@760Torr
サンプル温度: -10~+45℃
サンプル圧力: 300Torr~1000Torr
ガスインレット: 1/4″Swagelok(R)
本体寸法: 421×213×620 mm
本体重量: 33.18kg(真空ポンプを含む)
消費電力: 400W未満

測定間隔4秒の高速測定
  • 導入事例

主な導入事例

PICARRO社のCRDS方式SI2000シリーズは韓国、台湾、日本を中心としてAMCモニタリングやガスモニタリングとして先端の半導体工場に多くの導入事例があります。

参考ムービー

食品の産地判別に安定同位体比アナライザーを利用した事例(NTT様ご提供)

*PICARRO社のCRDS技術に関する紹介ビデオ

PICARRO社のCRDSは精度が高く、安定同位体比の測定にも利用されています