東京ビッグサイト　東6ホール　3－6

2014年4月16日［水］～18日［金］

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■K-MAC社　ファイバー式膜厚計　ST1000
多層膜の膜厚測定・屈折率解析が可能なファイバー式膜厚計
フォーカス調整不要で簡便に膜厚の測定が可能。

■K-MAC社　光干渉式膜厚計 ST2000-DLXn, ST4000-DLX
多層膜の膜厚測定・屈折率解析が可能な光干渉式膜厚計
顕微鏡を介することで微小領域の測定が可能。

■K-MAC社　OSP専用膜厚計 ST2080-OSP
OSP被膜の厚みを非破壊、非接触に測定可能
従来の破壊分析(UV法)より精確で簡便な光干渉法により非破壊分析が可能。