三次元表面形状測定装置 卓上型
K-MAC社 OptoView SPI500
- 概要
- ・LCD業界向け膜厚計でトップシェアを誇るK-MAC社待望の最新モデル。
・様々な表面形状を高速・高精度・高分解能で測定。
・大型ステージにも対応しており、垂直分解能0.1nm、スキャン速度10μm/sec、全自動測定の走査型白色干渉計を低価格で提供。
外観イメージ
仕様
測定原理・・・走査型白色干渉法
スキャン範囲・・・35㎛ (Extend Scan Range 100㎛)
スキャン速度・・・10μm/sec
垂直分解能・・・0.1nm
水平分解能・・・0.96㎛ (20X Lens) 0.7㎛ (50X Lens)
対物レンズ・・・10X, 20X, 50X (Tube lens 0.5X, 1X, 1.5X)
ターゲットエリア・・・640X480 pixels (7.4㎛, 10X)
ウェーハサイズ・・・φ4～12"(大型基板にも対応可能)
検出器・・・3D CCD 8bit
Surface 3D image
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