UHP高純度ガス水分計(水晶発振式)
Model 5910/5920
Model 5910
- 概要
- 水晶発振式のUHP高純度ガス水分計です。
マスフローコントローラー、ゼロガスモジュール内蔵で、各種システムを最適化。 高感度、高精度、高速レスポンスを誇ります。スパンガス、キャリブレーションも不要で、自動ゼロ校正も可能。
おもな仕様
検出下限:150ppt(5920:1ppb)
校正レンジ:150ppb
測定レンジ:1000ppb
おもな用途
・UHP高純度ガス
・半導体・電子材料ガス