半導体・液晶専用検査装置

• 三次元表面形状測定装置　卓上型

  K-MAC社　OptoView SPI500

  

• 三次元表面形状測定装置　自動型

  K-MAC社　OptoView SPI1000

  

• カラーフィルタ検査装置　卓上型

  K-MAC社　SCM6000(卓上型)

  

• 顕微レーザラマン分光装置

  DeltaNu社　ExamineR

  

• カラーフィルタ検査装置　自動型

  K-MAC社　SCM6000

  

• 光干渉式膜厚計　FPD専用

  K-MAC社　ST8000-MAP

  

• 光干渉式膜厚計　FPD専用

  K-MAC社　ST6000

  

• 光干渉式膜厚計　ウェーハ専用

  K-MAC社　ST10000-ER

  

• 光干渉式膜厚計　ウェーハ専用

  K-MAC社　ST5500-Plus

  

• 光干渉式膜厚計

  K-MAC社　ST5030-SL

  

• 光干渉式膜厚計

  K-MAC社　ST5000

  

• 光干渉式膜厚計

  K-MAC社　ST4000-DLX

  

• 光干渉式膜厚計

  K-MAC社 ST2000-DLXn

  

• ウェーハ測定用　FTIR

  三洋貿易製　IR-EPOCH5000

  

• ウェーハ測定用　FTIR

  三洋貿易製　IR-EPOCH4000

  

• ウェーハ測定用　FTIR

  三洋貿易製　IR-EPOCH500

  

• シリコンウェハー自動測定装置　　【MappIR ・ Wafer Holder 】

  MappIR 　　　　　　　反射・透過測定　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Wafer Holder 　　　　 透過測定　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　【Pike社製】

  

• ガス測定用FTIRシステム

  三洋貿易 Model571シリーズ

  

• ハードディスク潤滑材膜厚測定用FTIR

  三洋貿易ディスクチェッカーシリーズ