◇ＦＴＩＲ測定用アクセサリー 【プラズマクリーナー、偏光子、ウェーハ自動測定装置、など】
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- プラズマクリーナー(小型)
- Harrick Plasma社 PDC-32G
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- プラズマクリーナー(大型)
- Harrick Plasma社 PDC-001
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- 赤外アクセサリーキット
- Infrared Accessory Kit 【Harrick社製】
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- 偏光子 (自動、手動） 【Polarizer】
- Polarizer
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- シリコンウェハー自動測定装置 【MappIR ・ Wafer Holder 】
- MappIR 反射・透過測定 Wafer Holder 透過測定 【Pike社製】
